Документ ГОСТ 8.593-2009 "Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы сканирующие зондовые атомно-силовые. Методика поверки" введен в действие c 01.01.2011 и является действующим в настоящий момент. Его можно скачать по ссылке выше.