Документ ГОСТ 8.592-2009 "Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления" введен в действие c 01.01.2011 и является действующим в настоящий момент. Его можно скачать по ссылке выше.