Документ ГОСТ 8.591-2009 "Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки" введен в действие c 01.01.2011 и является действующим в настоящий момент. Его можно скачать по ссылке выше.