|
БАЗА НОРМАТИВНОЙ |
ГОСТ 26239.8-84 |
|
|
|
 0  397 Документ ГОСТ 26239.8-84 "Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния" введен в действие c 01.01.1986 . Скачать документ можно, нажав на ссылку выше. |
|
|
Скачать бесплатно нормативные документы |
|
Данный ГОСТ 26239.8-84 устанавливает метод определения содержания дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния в полупроводниковом кремнии и исходных продуктах для его получения. Ключевые моменты:
- Описание оборудования и реактивов, необходимых для проведения анализа
- Подробная процедура пробоподготовки и проведения измерений
- Методика расчета содержания целевых компонентов
- Требования к точности и воспроизводимости результатов
Целевая аудитория - специалисты химических и полупроводниковых производств, а также аналитические лаборатории, занимающиеся контролем качества полупроводникового кремния и сырья для его получения. Данный ГОСТ обеспечивает унифицированный подход к определению примесного состава этих материалов, что важно для обеспечения стабильности технологических процессов и качества конечной продукции.
