Скачать
ГОСТ 26239.5-84
бесплатно

Данный ГОСТ (Государственный стандарт) 26239.5-84 "Кремний полупроводниковый и кварц. Метод определения примесей" устанавливает методы определения примесей в полупроводниковом кремнии и кварце. Основная тема документа - методы анализа и контроля качества материалов, используемых в полупроводниковой промышленности.

Ключевые моменты документа:

• Методы спектрального, атомно-абсорбционного и химического анализа для определения примесей в полупроводниковом кремнии и кварце.
• Требования к аппаратуре, реактивам и вспомогательным материалам, используемым при проведении анализов.
• Процедуры пробоподготовки и проведения измерений для различных методов анализа.
• Правила оформления результатов анализа и расчета содержания примесей.

Целевая аудитория данного ГОСТ - специалисты лабораторий, осуществляющих контроль качества полупроводниковых материалов, а также инженеры и технологи, занимающиеся производством и обработкой кремния и кварца для нужд электронной промышленности. Документ содержит подробные технические требования и рекомендации, необходимые для проведения точных и воспроизводимых измерений примесного состава материалов.