Скачать
ГОСТ 25196-82
бесплатно

Данный ГОСТ (Государственный стандарт) 25196-82 "Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования" устанавливает общие технические требования к оборудованию для ионной имплантации, используемому в различных областях промышленности.

Ключевые моменты документа:

• Определение основных терминов и определений, связанных с оборудованием для ионной имплантации.
• Требования к основным техническим характеристикам оборудования, таким как диапазон энергий ускоренных ионов, плотность ионного тока, равномерность распределения ионного пучка и другие.
• Требования к конструкции, материалам и сборке оборудования, включая вакуумные камеры, системы питания, управления и диагностики.
• Требования к безопасности использования оборудования, включая защиту от радиоактивного излучения и требования к заземлению.
• Правила приёмки и методы испытаний оборудования для ионной имплантации.

Целевая аудитория данного стандарта - это проектировщики, производители и пользователи оборудования для ионной имплантации, применяемого в различных отраслях промышленности, таких как микроэлектроника, машиностроение, металлургия и др.